三氟化氮,是一种无机化合物,化学式NF3,常温常压下为无色气体,不溶于水,是一种强氧化剂,是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,还可用作高能燃料。三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,还可...
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